中电熊猫15.6吋BCE面板成功点亮

7月17日,15.6吋BCE面板在中电熊猫8.5代线成功点亮,中电熊猫2017年重点研发项目“非晶态IGZO BCE制程量产工艺研究”取得突破性进展!这标志着中电熊猫在IGZO技术领域的领先地位进一步确立,必将有力带动面板产品的高端化,对中国电子、中电熊猫平板显示产业创新发展具有重要意义。

BCE结构(即背沟道蚀刻型结构)是IGZO TFT器件的一种结构类型。目前,中电熊猫8.5代线IGZO制程技术采用的是TFTESL结构(即刻蚀阻挡型结构),器件所占版图空间较大,不利于实现更窄的边框设计和更高的开口率;而BCE结构具有光刻次数少、器件小型化、制造成本低等优点,其技术开发量产有利于降低产品成本、实现高端产品开发、增强IGZO技术的市场竞争力。

此次15.6吋BCE面板成功点亮,标志着中电熊猫8.5代线IGZOTFT器件从ESL结构向BCE结构的重大转变,朝着IGZO BCE制程量产迈出了重要一步,将助推中电熊猫产品向更高分辨率的高端产品转型。

今年2月起,中电熊猫正式启动“非晶态IGZO BCE制程量产工艺研究”项目,组建项目团队,开展项目攻关。项目实行分阶段闭环管理,定期开展阶段性成果测试与评价,实时监控项目进度和质量,先后解决了BCE制程中IGZO薄膜易腐蚀等关键性难题,完成了新靶材规格确认、新铜酸烧杯试验、mask设计、试生产等一系列工作,并于7月17日首次试做即成功点亮, BCE工艺的优化工作也随后完成。


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